خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Lecture Notes on Principles of Plasma Processing

توضیحاتی در مورد کتاب



پردازش پلاسما در نیمه هادی ها یک زمینه بین رشته ای است که به دانش فیزیک پلاسما و مهندسی شیمی نیاز دارد. این دو نویسنده در هر یک از این زمینه ها متخصص هستند و همکاری آنها منجر به ادغام این زمینه ها با یک اصطلاح مشترک می شود. مفاهیم پایه پلاسما بدون درد برای کسانی که در مقطع کارشناسی الکترومغناطیسی خوانده اند اما قبلاً در معرض پلاسما قرار نگرفته اند، معرفی می شود. مشتقات جزئی غیر ضروری حذف می شوند. با این حال، خواننده به درک عمیقی از مفاهیمی مانند ساختار غلاف‌ها که در طراحی و عملکرد راکتورهای پردازش پلاسما مهم هستند، هدایت می‌شود. فیزیکدانانی که به پلاسماهای با دمای پایین عادت ندارند با سینتیک شیمیایی، علوم سطح و طیف‌سنجی مولکولی آشنا می‌شوند. این مطالب برای یک دوره تحصیلات تکمیلی نه هفته ای متراکم شده است، اما کافی است تا خواننده را در مورد مشکلات فعلی مانند اتصالات مسی، دی الکتریک های کم و پک بالا و آسیب اکسید به روز کند. دانش‌آموزان از طرح‌بندی به سبک وب با تصاویر رنگی فراوان در مقابل متن، با فضای کافی برای یادداشت‌ها قدردانی خواهند کرد. سی دی همراه شامل یک کپی از کتاب است که می تواند با استفاده از یک تابع جستجو نمایه شود، و می توان آن را برای مشاهده دقیق تر نمودارها، روی مانیتور بزرگ کرد. نمونه تکالیف و مسائل امتحانی نیز در سی دی موجود است.

این کتاب کوتاه برای کارگران جدید در صنعت نیمه هادی که می خواهند با حداقل تلاش به سرعت بالا بروند ایده آل است. همچنین برای دانشجویان مهندسی شیمی که در حال مطالعه پردازش پلاسما مواد هستند مناسب است. مهندسان، فیزیکدانان و تکنسین‌هایی که وارد صنعت نیمه‌رسانا می‌شوند، می‌خواهند مروری سریع بر استفاده از پلاسما در صنعت داشته باشند.