خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Updates in Advanced Lithography

توضیحاتی در مورد کتاب

InTechOpen، 2013. – 259 ص. — ISBN: 9535111757, 9789535111757.
На англиски. языке.

لیتوگرافی پیشرفته تا چندین زمینه مانند لیتوگرافی نانو، سیستم میکرو الکترومکانیکی (MEMS) و نانو فوتونیک و غیره رشد می کند. تا اندازه 20 نانومتر در دستگاه الکترونی پیشرفته. در نتیجه، ما باید لیتوگرافی تک نانومتری واقعی را مطالعه و توسعه دهیم. یکی از راه حل ها مطالعه تلفیقی از فن آوری های بالا به پایین و پایین به بالا مانند ترسیم EB و خود مونتاژ با کوپلیمر بلوک است. در MEMS و نانو فوتونیک، ساختارهای 3 بعدی برای دستیابی به برخی عملکردها در دستگاه های کاربردی مورد نیاز است. شکل گیری آنها به روش های مختلفی از جمله لیتوگرافی کلوئیدی، استریو لیتوگرافی، اچینگ خشک، کندوپاش، رسوب گذاری و … انجام می شود.این کتاب حوزه وسیعی را در رابطه با لیتوگرافی نانو، ساختار نانو و ساختار سه بعدی پوشش می دهد و خوانندگان را معرفی می کند. به روش‌ها، روش‌شناسی و کاربردهای آن.

محتوا
لیتوگرافی برای ساختار سه‌بعدی و مقیاس نانو.< br/>لیتوگرافی کلوئیدی.
پیشرفت های اخیر در استریولیتوگرافی دو فوتونی.
لیتوگرافی لیزری فمتوثانیه در مواد آلی و غیر آلی.
لیتوگرافی سه بعدی با استفاده از ترکیبی از پردازش نانومقیاس و اچ شیمی مرطوب .
ترکیب روش های لیتوگرافی و پوشش برای کنترل مرطوب شدن سطح.
مقاومت کنید.
مقاومت در برابر همگنی.
نانوامپرینت.
لیتوگرافی نانوایمپرنت UV نرم و کاربردهای آن.
نانوساختارهای پلاسمونیک زیر 30 نانومتر توسط لیتوگرافی نرم UV Nanoimprint.
ساخت نانوساختار سه بعدی.
پارچه ایجاد نانوساختارهای با نسبت تصویر بالا بر روی بستر کوارتز.
ساخت ساختارهای میکرو و نانو سه بعدی به کمک پریسم UV و لیتوگرافی هولوگرافیک.