خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Plasma electronics: applications in microelectronic device fabrication

توضیحاتی در مورد کتاب

بدون تکنیک های پردازش پلاسما، پیشرفت های اخیر در ساخت میکروالکترونیک ممکن نبود. اما فراتر از فعال کردن قابلیت‌های جدید، تکنیک‌های مبتنی بر پلاسما پتانسیل افزایش و بهبود بسیاری از فرآیندها و برنامه‌ها را دارند. آنها در طیف وسیعی از اندازه و مقیاس های زمانی قابل اجرا هستند و می توانند برای رسوب گذاری، اچینگ و حتی نظارت و تشخیص فرآیند استفاده شوند. الکترونیک پلاسما: کاربردها در ساخت دستگاه های میکروالکترونیک، فیزیک اساسی و روش های عددی لازم برای آوردن این فناوری ها از آزمایشگاه به کارخانه را توضیح می دهد.

با مروری بر ویژگی‌های اساسی و کاربردهای پلاسمای دمای پایین، کارشناسان برجسته ماکابه و پتروویچ فیزیک زیربنای رفتار پیچیده پلاسمای غیر تعادلی (یا دمای پایین) را بررسی می‌کنند. آنها انتقال ذرات باردار را به طور کلی و جزئی و همچنین ویژگی‌های پلاسمای ماکروسکوپی و فرآیندهای اولیه در فاز گاز و روی سطوح را مورد بحث قرار می‌دهند. پس از ایجاد این زمینه، این کتاب به بررسی روش‌های محاسباتی پیشرفته برای مدل‌سازی پلاسما می‌پردازد و کاربردهای مهم مختلف از جمله پلاسمای جفت‌شده به صورت القایی و خازنی، پلاسمای تقویت‌شده مغناطیسی و تکنیک‌های مختلف پردازش را مرور می‌کند، در حالی که مشکلات متعدد و مثال‌های کار شده این مفاهیم را تقویت می‌کنند. .

ترکیب منحصربه‌فرد فیزیک، روش‌های عددی و کاربردهای عملی، Electronic Plasma: برنامه‌های کاربردی در ساخت دستگاه‌های میکروالکترونیک، شما را با دانش لازم برای افزایش پیشرفت‌های آزمایشگاهی به نوآوری‌های صنعتی مجهز می‌کند.