خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Multi-Wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines

توضیحاتی در مورد کتاب



Multi-Wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines حاصل پروژه Micro Engine MIT است. این پروژه در مؤسسه فناوری ماساچوست در پاییز 1995 آغاز شد و بعداً از طریق همکاری با مؤسسه فناوری جورجیا، دانشگاه کلارک آتلانتا و دانشگاه مریلند در کالج پارک گسترش یافت.

هدف کلی پروژه میکرو موتور، توسعه یک ژنراتور توربین گازی کوچک اما با توان بر اساس فناوری‌های ساخت MEMS بود. بنابراین، این پروژه به دنبال توسعه یک موتور جت سوخت سوز بود که یک ژنراتور الکتریکی را برای تولید نیروی الکتریکی برای مصارف عمومی به حرکت درآورد. در طول مسیر، این پروژه باعث پیشرفت علم و مهندسی بسیاری از رشته‌ها از دیدگاه MEMS می‌شود.

پروژه موتور میکرو طبیعتاً یک پروژه بسیار چند رشته‌ای بود که دنبال می‌شد. پیشرفت در مواد، سازه ها، ساخت، احتراق، انتقال حرارت، توربوماشین آلات، یاتاقان ها و الکترومکانیک، همه در مقیاس MEMS. در این جلد به بسیاری از این موضوعات پرداخته شده است، از جمله:

ساختارها و بسته بندی مواد

ساخت و فن آوری های اتصال MEMS چند ویفر آبکاری اجزای مغناطیسی

آبکاری ساختارهای مغناطیسی به سیلیکون

بیرینگ های هوای با سرعت بسیار بالا

ترموسیال و توربوماشین

P>

ژنراتورهای الکتریکی و مغناطیسی

احتراق

درباره قفسه مرجع MEMs :

“قفسه مرجع MEMs مجموعه‌ای است که به سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی (MEMs) اختصاص دارد که عناصر مکانیکی، الکتریکی، نوری یا سیال را روی یک میکروساخت معمولی ترکیب می‌کند. بستری برای ایجاد حسگرها، محرک‌ها و میکروسیستم‌ها. این مجموعه که توسط متخصصان برجسته MEM نوشته شده است، تلاش می‌کند تا چارچوبی را ارائه دهد که در آن اصول اولیه، روش‌های شناخته شده و برنامه‌های کاربردی جدید به شیوه‌ای منسجم و یکپارچه ادغام شوند.”

STEPHEN D. SENTURIA
موسسه فناوری ماساچوست، استاد مهندسی برق، ممتاز