خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration
قیمت اصلی 129,000 تومان بود.54,000 تومانقیمت فعلی 54,000 تومان است.
تعداد فروش: 51
| عنوان فارسی |
سنسورهای لایه نازک میکروماشین شده برای ادغام مشترک SOI-CMOS |
|---|---|
| عنوان اصلی | Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration |
| ویرایش | 1st Edition. |
| ناشر | Springer |
| نویسنده | Jean Laconte, Denis Flandre, Jean-Pierre Raskin |
| ISBN | 9781441939579, 1441939571 |
| سال نشر | 2010 |
| زبان | English |
| تعداد صفحات | 291 |
| دسته | ابزار |
| فرمت کتاب | pdf – قابل تبدیل به سایر فرمت ها |
| حجم فایل | 6 مگابایت |
آنتونی رابینز میگه : من در 40 سالگی به جایی رسیدم که برای رسیدن بهش 82 سال زمان لازمه و این رو مدیون کتاب خواندن زیاد هستم.
توضیحاتی در مورد کتاب
ادغام همزمان سنسورها با قطعات الکترونیکی مرتبط با آنها بر روی یک تراشه سیلیکونی ممکن است مزایای قابل توجهی را در مورد عملکرد، قابلیت اطمینان، کوچکسازی و سادگی فرآیند بدون افزایش قابلتوجه هزینه کل ارائه دهد. و ادغام موفقیت آمیز حسگرهای جریان گاز بر روی غشای دی الکتریک، با الکترونیک مربوط به آنها، در فناوری CMOS-SOI را نشان می دهد. پردازش یک غشای چند لایه دی الکتریک مستحکم و مسطح به ضخامت 1 اینچ با استفاده از محلول میکروماشینکاری سیلیکون تترا متیل آمونیوم هیدروکسید (TMAH). بهینه سازی گزینش پذیری آن نسبت به آلومینیوم تا حد زیادی نشان داده شده است. بخش دوم بر طراحی و ویژگی های حسگرها تمرکز دارد. یک میکروهیتر پلی سیلیکونی حلقه شکل جدید در فرآیند استاندارد CMOS-SOI طراحی و ساخته شده است. یکنواختی حرارتی بالا، مصرف انرژی کم و دمای کاری بالا با اندازه گیری های گسترده تایید می شود. لایههای اضافی حسگر جریان گاز با احتیاط انتخاب و اجرا میشوند. اندازهگیریها در حضور جریان نیتروژن و گاز حساسیت منصفانه را در محدوده سرعت جریان زیاد و همچنین پاسخ خوبی به بسیاری از گازها نشان میدهد. در نهایت، ترانزیستورهای MOS معلق بر روی غشاهای دی الکتریک آزاد شده ارائه شده و به طور کامل به عنوان یک نمایشگر نهایی از ادغام مشترک در فناوری SOI مشخص میشوند.
نقد و بررسیها
هنوز بررسیای ثبت نشده است.