خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration

توضیحاتی در مورد کتاب

ادغام همزمان سنسورها با قطعات الکترونیکی مرتبط با آنها بر روی یک تراشه سیلیکونی ممکن است مزایای قابل توجهی را در مورد عملکرد، قابلیت اطمینان، کوچک‌سازی و سادگی فرآیند بدون افزایش قابل‌توجه هزینه کل ارائه دهد. و ادغام موفقیت آمیز حسگرهای جریان گاز بر روی غشای دی الکتریک، با الکترونیک مربوط به آنها، در فناوری CMOS-SOI را نشان می دهد. پردازش یک غشای چند لایه دی الکتریک مستحکم و مسطح به ضخامت 1 اینچ با استفاده از محلول میکروماشینکاری سیلیکون تترا متیل آمونیوم هیدروکسید (TMAH). بهینه سازی گزینش پذیری آن نسبت به آلومینیوم تا حد زیادی نشان داده شده است. بخش دوم بر طراحی و ویژگی های حسگرها تمرکز دارد. یک میکروهیتر پلی سیلیکونی حلقه شکل جدید در فرآیند استاندارد CMOS-SOI طراحی و ساخته شده است. یکنواختی حرارتی بالا، مصرف انرژی کم و دمای کاری بالا با اندازه گیری های گسترده تایید می شود. لایه‌های اضافی حسگر جریان گاز با احتیاط انتخاب و اجرا می‌شوند. اندازه‌گیری‌ها در حضور جریان نیتروژن و گاز حساسیت منصفانه را در محدوده سرعت جریان زیاد و همچنین پاسخ خوبی به بسیاری از گازها نشان می‌دهد. در نهایت، ترانزیستورهای MOS معلق بر روی غشاهای دی الکتریک آزاد شده ارائه شده و به طور کامل به عنوان یک نمایشگر نهایی از ادغام مشترک در فناوری SOI مشخص می‌شوند.