خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices

توضیحاتی در مورد کتاب



در توسعه نسل بعدی دستگاه‌های نانومقیاس، سرعت بالاتر و عملکرد کمتر نام بازی است. اتکای فزاینده به رایانه های همراه، تلفن همراه و سایر دستگاه های الکترونیکی به سرعت و قدرت بیشتری نیاز دارد. از آنجایی که صفحه‌نمایش مکانیکی شیمیایی (CMP) به تدریج کمتر به‌عنوان هنر سیاه و بیشتر به‌عنوان یک فناوری پیشرفته شناخته می‌شود، به‌عنوان فناوری برای دستیابی به دستگاه‌های با کارایی بالاتر در حال ظهور است.

مهندسی نانوذرات برای مواد شیمیایی Mechanical Planarization خواص فیزیکوشیمیایی نانوذرات را با توجه به هر مرحله در فرآیند CMP، از جمله CMP دی الکتریک، CMP جداسازی روند کم عمق، CMP فلزی، CMP جداسازی پلی و CMP فلز نجیب توضیح می دهد. نویسندگان راهنمای دقیقی برای مهندسی نانوذرات دوغاب CMP جدید برای دستگاه‌های نانومقیاس نسل بعدی زیر قانون طراحی 60 نانومتری ارائه می‌کنند. آنها تکنیک های طراحی را با استفاده از افزودنی های پلیمری برای بهبود عملکرد CMP ارائه می کنند. فصل آخر بر دوغاب CMP جدید برای کاربرد در دستگاه های حافظه فراتر از فناوری 50 نانومتری تمرکز دارد.

اکثر کتاب های منتشر شده در CMP بر روی فرآیند پرداخت، تجهیزات و تمیز کردن تمرکز دارند. حتی اگر برخی از این کتاب‌ها روی دوغاب‌های CMP تأثیر بگذارند، روش‌هایی که آنها را پوشش می‌دهند به دوغاب‌های معمولی محدود می‌شوند و هیچ‌کدام آن‌ها را با جزئیات مورد نیاز برای توسعه دستگاه‌های نسل بعدی پوشش نمی‌دهند. این کتاب با پوشش مفاهیم اساسی و فناوری‌های جدید، بینش تخصصی را در مورد CMP برای همه سیستم‌های نسل فعلی و نسل بعدی ارائه می‌دهد.