خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Optical Diagnostics for Thin Film Processing

توضیحاتی در مورد کتاب

این جلد نقش فزاینده تشخیص نوری درجا را در پردازش لایه نازک برای کاربردهای مختلف از مطالعات علوم بنیادی گرفته تا توسعه فرآیند تا کنترل در حین ساخت توصیف می‌کند. مزیت کلیدی تشخیص نوری در این کاربردها این است که معمولاً غیر تهاجمی و غیر نفوذی هستند. پروب های نوری سطح، فیلم، ویفر و گاز بالای ویفر برای بسیاری از فرآیندها، از جمله اچ پلاسما، MBE، MOCVD، و پردازش حرارتی سریع توضیح داده شده است. برای هر تکنیک نوری، اصول اساسی ارائه می‌شود، حالت‌های اجرای آزمایشی توصیف می‌شوند، و کاربردهای تشخیصی در پردازش لایه نازک، با مثال‌هایی از میکروالکترونیک و اپتوالکترونیک، تحلیل می‌شوند. توجه ویژه ای به کاوش در زمان واقعی سطح، به اندازه گیری غیرتهاجمی دما، و استفاده از پروب های نوری برای کنترل فرآیند می شود. تشخیص نوری برای پردازش لایه نازک منحصر به فرد است. هیچ جلد دیگری کاربرد بلادرنگ تکنیک های نوری را در همه حالت های پردازش لایه نازک بررسی نمی کند. این متن می تواند توسط دانش آموزان و افراد تازه وارد به عنوان مقدمه و بررسی موضوع مورد استفاده قرار گیرد. همچنین به عنوان یک منبع جامع برای مهندسان، تکنسین ها، محققان و دانشمندانی که در حال حاضر در این زمینه کار می کنند، عمل می کند.