خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Sputtering Materials for VLSI Thin Film Devices

توضیحاتی در مورد کتاب



یک منبع مهم برای دانشجویان، مهندسان و محققانی که در زمینه رسوب لایه نازک با استفاده از رسوب بخار فیزیکی (به عنوان مثال sputtering) برای نمایشگرهای نیمه هادی، کریستال مایع، بالا کار می کنند. تولید رسانه های ثبت تراکم و دستگاه های فتوولتائیک (مانند سلول های خورشیدی لایه نازک). این کتاب همچنین موضوعات صنعت میکروالکترونیک مانند تاریخچه اختراعات و روندهای فناوری، پیشرفت‌های اخیر در فناوری‌های کندوپاش، مراحل ساخت که نیاز به کندوپاش لایه‌های نازک دارد، خواص لایه‌های نازک و نقش عملکرد هدف کندوپاش در بهره‌وری کلی فرآیندهای مختلف را بررسی می‌کند. دو فصل منحصر به فرد این کتاب به مسائل بهره وری و عیب یابی می پردازد.

محتوای کتاب به دو بخش تقسیم شده است: (الف) بخش اول (فصل 1 تا فصل). 3) برای خوانندگان از طیف وسیعی از رشته ها (به عنوان مثال برق، شیمی، شیمی، فیزیک) آماده شده است تا بینشی در مورد استفاده از فیلم های پراکنده در دستگاه های مختلف (مانند نیمه هادی، نمایشگر، فتوولتائیک، ذخیره سازی داده ها) به دست آورد. کندوپاش و عملکرد هدف کندوپاش در رابطه با بهره وری، و (ب) بخش دوم (فصل 4 تا فصل 8) برای خوانندگانی که قبلاً دانش پس زمینه ای از رسوب کندوپاش لایه های نازک، مواد دارند تهیه شده است. اصول علمی و علاقه مند به جزئیات روش های ساخت هدف کندوپاش، رفتار کندوپاش و ویژگی های لایه نازک مخصوص نیمه هادی ها، نمایشگر کریستال مایع، کاربردهای ذخیره سازی داده های فتوولتائیک و مغناطیسی است.

در فصل‌های 5 تا 8، از یک ساختار کلی استفاده شده است، به عنوان مثال شرح کاربرد لایه‌های نازک پراکنده، روش‌های ساخت هدف کندوپانی (شامل نمودارهای جریان)، رفتار کندوپاشی اهداف (به عنوان مثال، جریان – ولتاژ). رابطه، سرعت رسوب) و خواص لایه نازک (مانند ریزساختار، تنش ها، خواص الکتریکی، ذرات درون لایه). در حین بحث در مورد این موضوعات، سعی شده است نمونه هایی از فرآیندهای تجاری واقعی گنجانده شود تا پیچیدگی افزایش یافته فرآیندهای تجاری با رشد فناوری های پیشرفته برجسته شود. علاوه بر پرسنلی که در محیط صنعت کار می کنند، محققان دانشگاهی با دانش پیشرفته در مورد کندوپاش نیز بحث در مورد چنین موضوعاتی (مانند ویژگی های طراحی هدف، طراحی محفظه، ریزساختار هدف، ویژگی های سطح کندوپاش، مسائل مختلف عیب یابی) را مفید خواهند یافت.

.

• پوشش منحصر به فرد روش های تولید هدف کندوپاش در پرتو نیمه هادی ها، نمایشگرها، ذخیره سازی داده ها و الزامات صنعت فتوولتائیک
• اطلاعات عملی در مورد فناوری روندها، نقش کندوپاش و OEM های اصلی
• بحث در مورد خواص طیف گسترده ای از لایه های نازک که شامل سیلیسیدها، هادی ها، موانع انتشار، اکسیدهای رسانای شفاف، لایه های مغناطیسی و غیره می شود.
• عملی مطالعات موردی در مورد عملکرد هدف و عیب یابی
• اطلاعات فنی ضروری برای دانشجویان، مهندسان و دانشمندان شاغل در صنایع نیمه هادی، نمایشگر، ذخیره سازی داده ها و فتوولتائیک