خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Micro and Nano Technologies)

توضیحاتی در مورد کتاب

راهنمای جامع مواد، فناوری‌ها و ساخت MEMS، با بررسی وضعیت هنر با تأکید خاص بر کاربردهای فعلی و آینده. موضوعات کلیدی پوشش داده شده عبارتند از: سیلیکون به عنوان ماده MEMS خواص مواد و تکنیک‌های اندازه‌گیری روش‌های تحلیلی مورد استفاده در خصوصیات مواد مدل‌سازی در MEMS اندازه‌گیری فناوری‌های ریزماشینکاری MEMS در MEMS کپسوله‌سازی اجزای MEMS فناوری‌های فرآیند در حال ظهور، از جمله ALD و سیلیکون متخلخل نوشته شده توسط 73 مشارکت‌کننده MEMS کلاس جهانی از در سراسر جهان، این جلد شامل انتخاب مواد و همچنین مهم ترین مراحل فرآیند در ریزماشین کاری فله است که نیازهای مهندسان طراحی دستگاه و مهندسان فرآیند یا توسعه را که در فرآیندهای تولید کار می کنند، برآورده می کند. همچنین یک مرجع جامع برای تحقیق و توسعه صنعتی و جوامع دانشگاهی فراهم می کند. ویکو لیندروس استاد متالورژی فیزیکی و علم مواد در دانشگاه فناوری هلسینکی فنلاند است. مارککو تیلی، معاون ارشد تحقیقات در Okmetic، Vantaa، فنلاند است. آری لهتو استاد فناوری سیلیکون در دانشگاه فناوری هلسینکی فنلاند است. Teruaki Motooka استاد گروه علوم و مهندسی مواد، دانشگاه کیوشو، ژاپن است. . فن‌آوری‌های بسته‌بندی حیاتی و دانش فرآیندی را برای پیوند مستقیم سیلیکونی، پیوند آندی، پیوند شیشه‌ای و تکنیک‌های مرتبط ارائه می‌دهد. نحوه محافظت از دستگاه ها در برابر محیط و کاهش اندازه بسته را برای کاهش چشمگیر هزینه های بسته بندی نشان می دهد. درباره خواص، آماده‌سازی و رشد کریستال‌های سیلیکون و ویفر بحث می‌کند. خواص متعدد (مکانیکی، الکترواستاتیک، نوری، و غیره)، ساخت، پردازش، اندازه گیری (شامل تکنیک های پرتو متمرکز)، و روش های مدل سازی چند مقیاسی سازه های MEMS را توضیح می دهد.