خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Bonding in Microsystem Technology

توضیحاتی در مورد کتاب



پیوند در فناوری میکروسیستم مربوط به حوزه هیجان انگیز میکروسیستم ها (معروف به نام های مختلف به عنوان: MEMS، μTAS (میکروسیستم های تحلیلی یا شیمیایی)، MOEMS: دستگاه های میکرو مینیاتوری، با استفاده از ساختارهای مکانیکی بسیار کوچک ساخته شده معمولاً از سیلیکون است. با اچینگ ناهمسانگرد عمیق مرطوب، چنین سازه هایی را نمی توان مستقیماً مورد استفاده قرار داد، آنها باید به عنوان بخشی از ساندویچ سه بعدی چند لایه ساخته شده از سیلیکون یا سیلیکون و شیشه طراحی و ساخته شوند. باندینگ کتاب حاوی شرح ریزماشینکاری ناهمسانگرد مرطوب سازه های میکرومکانیکی سیلیکونی پایه و استفاده از آنها در میکروسیستم ها است که به دنبال آن همه روش های پیوند مورد استفاده برای تشکیل ریزسیستم های سیلیکون و سیلیکون-شیشه با توجه ویژه به بحث مفصل می پردازد. تکنیک پیوند آندی.

پیوند در فناوری میکروسیستم با توصیف اصطلاح شروع می شود اینولوژی، انواع میکروسیستم ها و تحلیل بازار. در ادامه، ارائه مکانیسم‌های حکاکی مرطوب، مجموعه پارامترهای فرآیند، شرح روش‌های ریزماشینکاری، نمونه‌هایی از رویه‌ها، نمودارهای جریان فرآیند و کاربردهای ساختارهای میکرومکانیکی پایه در میکروسیستم‌ها نشان داده شده است. در ادامه، پیوند در دمای بالا، دمای پایین و دمای اتاق و کاربردهای آنها در فناوری میکروسیستم ارائه شده است. بخش بعدی کتاب شامل شرح مفصل پیوند آندی است که از تجزیه و تحلیل خواص شیشه های مناسب برای پیوند آندی شروع می شود و در مورد ماهیت این فرآیند بحث می شود. در ادامه، انواع روش‌های پیوند آندی و آب‌بندی مورد استفاده در فناوری میکروسیستم ارائه شده‌اند. این بخش از کتاب با نمونه هایی از کاربردهای پیوند آندی در فناوری میکروسیستم برگرفته از ادبیات اما عمدتاً بر اساس تجربه شخصی نویسنده به پایان می رسد.

Bonding in Microsystem Technology خطاب به دانشمندان و محققین و همچنین معلمان دانشگاهی و دانشجویان، مهندسان فعال در زمینه برق/الکترونیک و میکروالکترونیک می باشد. این می تواند به عنوان دایره المعارف حکاکی مرطوب و پیوند برای فناوری میکروسیستم عمل کند. نتایج فن آوری ارائه شده در کتاب توسط نویسنده و تیم او به صورت تجربی آزمایش شده است و می تواند در تمرینات آزمایشگاهی روزانه مورد استفاده قرار گیرد. توجه ویژه ای به بالاترین سطح دسترسی دانش آموزان به کتاب شده است. این کتاب شامل تعداد زیادی تصویر، نمودارهای جریان الگوریتمی و شرح میکروسیستم ها و فهرستی غنی از منابع ادبی است.