خرید و دانلود نسخه کامل کتاب ULSI semiconductor technology atlas

توضیحاتی در مورد کتاب

بیش از 1100 تصویر TEM علم ULSI را نشان می دهد. رشد طبیعی VLSI (ادغام در مقیاس بسیار بزرگ)، ادغام در مقیاس بسیار بزرگ (ULSI) به تراشه های نیمه هادی با بیش از 10 میلیون دستگاه در هر تراشه اشاره دارد. اطلس فناوری نیمه هادی ULSI که توسط سه پیشگام مشهور در زمینه خود نوشته شده است، از مثال ها و میکروگراف های TEM (میکروسکوپ الکترونی انتقالی) برای توضیح و نشان دادن فناوری های فرآیند ULSI و مشکلات مرتبط با آنها استفاده می کند. اولین کتاب موجود در این زمینه که با استفاده از تصاویر TEM نشان داده می شود، ULSI است. اطلس فناوری نیمه هادی به طور منطقی به چهار بخش تقسیم می شود: * قسمت اول شامل مقدمه های اساسی در فرآیند ULSI، تجزیه و تحلیل ساخت دستگاه، و آماده سازی نمونه TEM است * قسمت دوم بر روی ماژول های کلیدی ULSI تمرکز دارد – کاشت یون و نقص، دی الکتریک ها و ساختارهای جداسازی، سیلیسیدها. /سالیکش ها و متالیزاسیون * بخش سوم دستگاه های یکپارچه را بررسی می کند، از جمله DRAM کامل مسطح، DRAM سلول انباشته، و DRAM سلول ترانچ، و همچنین SRAM به عنوان نمونه هایی برای یکپارچه سازی و توسعه فرآیند * قسمت IV بر کاربردهای ویژه، از جمله TEM در تجزیه و تحلیل شکست پیشرفته تأکید دارد. TEM در توسعه بسته بندی پیشرفته و مطالعات UBM (Under Bump Metallization) nd TEM با وضوح بالا در میکروالکترونیک این راهنمای نوآورانه همچنین به مهندسان و مدیران صنعت میکروالکترونیک و همچنین دانشجویان فارغ التحصیل این موارد را ارائه می دهد: * بیش از 1100 تصویر TEM برای نشان دادن علم ULSI * مقدمه ای تاریخی بر فناوری پوشش تکامل مشکلات و مسائل اساسی فرآیند ULSI* بحث در مورد TEM در سایر دستگاه ها و مواد میکروالکترونیک پیشرفته، مانند حافظه های فلش، SOI، دستگاه های SiGe، MEMS و CD-ROM ها